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公共实验平台

反应离子束刻蚀机

型号:MRIBE-150A

仪器负责人:马平

仪器编号:201706514

仪器联系人:杨涛、张焱

联系方式:phyyt@pku.edu.cn

放置地点:物理楼北176

开放范围:所内开放/院、校内开放

自主操作 委托测试


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Institute of Condensed Matter and Material Physics, Peking University