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【凝聚态物理-北京大学论坛 2024年第19期（总601期）】高品质MPCVD金刚石晶体及应用

发布日期:2024-10-14   点击数:

主讲人: 朱嘉琦 教授（哈尔滨工业大学)
地点: 物理楼中212会议室
时间: 2023年10月17日（星期四） 下午3:00－4:30
主持 联系人: 刘开辉 khliu@pku.edu.cn
主讲人简介: 朱嘉琦，哈尔滨工业大学航天学院教授、博导，长江学者特聘教授，国家杰出青年基金，万人计划领军人才，科技部重点专项、装备发展部领域专家，科工局科技创新领域专家，国防科技创新团队带头人，高效焊接新技术国家工程研究中心副主任。主要从事晶体及薄膜等研究，担任中国机械工程学会表面工程分会副主任，中国材料研究学会极端材料与器件分会副主任，中国仪表材料学会副理事长, Functional Diamond、Surface Science and Technology副主编，表面技术、人工晶体学报、中国表面工程、低温与真空、功能材料、材料科学与工艺等杂志编委，获得中国青年科技奖、省青年五四奖章等荣誉，获国家技术发明奖二等奖2项，国家专利金奖1项，黑龙江省技术发明一等奖2项。以负责人承担国家自然科学基金6项（含重点1项）、重点研发计划项目2项、国防基础科研3项、预研计划7项、军品配套3项等科研项目。成果已应用于多种重点型号，并实现产业化。获授权发明专利82项(转让21项)，在SCIENCE, ADVANCED MATERIALS等知名刊物发表200余篇学术论文，出版学术专著2部，译著1部。

  钻石不仅仅是珠宝首饰，它还可被用作宽禁带半导体材料。以金刚石材料为代表的碳基半导体是未来半导体产业的发展方向。单晶金刚石具有极佳的电学性能，如高的载流子迁移率、极高的击穿场强等，此外，还具有最高的材料热导率、良好的化学惰性、高的辐射抗性，被称为终极半导体材料。目前合成金刚石主要应用于刀具、线锯、污水处理等领域，高附加值的半导体领域的应用依然受到材料性能及半导体技术的限制。金刚石合成方法包括高温高压法和微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法。相对于高温高压法，MPCVD方法合成金刚石具有尺寸大、污染小等优势，是制备金刚石半导体晶圆材料的最佳方法。本报告将以高品质MPCVD金刚石材料及应用为主题，介绍金刚石合成方法及原理，MPCVD金刚石合成装备、高质量金刚石晶体材料合成工艺、金刚石半导体器件应用等内容，并给出发展展望。

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